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P22系列一維θx壓電偏轉鏡

更新時間: 2020-07-11

P22系列一維θx壓電偏轉鏡

P22系列壓電偏轉鏡是一維θx軸偏轉的壓電偏轉鏡/快反鏡,柔性鉸鏈導向設計具有零摩擦及靜態阻力、優異的導向精度,提供亞微弧度的分辨率和優異的定位穩定性。光束偏轉范圍可達6mrad, 具有極快的響應速度(毫秒至微秒級),非常適于動態操作(例如跟蹤、掃描、漂移及振動消除)及光學和樣品的靜態定位。

特點

• 一維θx偏轉

 偏轉角度3mrad

• 亞毫秒響應時間

• 閉環定位精度高

 

應用

• 圖像處理與穩定

• 激光掃描

• 隔行掃描、抖動

• 光學濾波器/開關

• 光束偏轉

• 樣品檢測

 

運動方式

P22系列壓電偏轉鏡如下圖所示安裝時,它產生上下俯仰運動,如下圖所示。

安裝固定與鏡片粘接

P22系列壓電偏轉鏡的鏡片負載面為φ15mm的平面,鏡片通過粘接方式固定于該面,我們可為您將鏡片粘接好,便于您后續使用,收到壓電偏轉鏡后只需安裝,即可使用。

P22.U3S壓電偏轉鏡在底端具有兩個用于固定的M3安裝螺紋孔。

結構原理與控制

P22.U3S偏轉鏡的移動由一個鉸鏈支撐,并且由一個線性壓電促動器推動。鉸鏈確定了軸心點,兼起到給壓電促動器施加預緊力的作用。單個鉸鏈單個促動器設計的優點是結構簡單、體積小巧、性價比高等。如果角度偏轉時工作環境溫度變化范圍較大,推薦使用芯明天差分驅動壓電偏轉鏡。

一個輸出通道的壓電控制器即可驅動P22.U3S壓電偏轉鏡,可選用芯明天E53.D壓電控制器,體積小,功能全,具有閉環伺服控制功能,可通過外部模擬信號或計算機軟件進行控制,操作便捷、易于集成。

技術參數

型號:P22.U3S

運動自由度θx

標稱行程(0~120V)2.5mrad(≈ 520秒)

行程范圍(0~150V)3mrad(≈ 600秒)

傳感器類型SGS

閉/開環分辨率0.3/0.1μrad

閉環線性度0.2%F.S.

閉環重復定位精度0.15%F.S.

空載諧振頻率3kHz

閉/開環空載階躍時間3/0.8ms

空載頻率10%行程):100Hz

空載頻率100%行程):40Hz

靜電容量1.8μF

材質

重量80g

注:以上參數是采用 E00/E01系列壓電控制器測得。

 

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