XP-780一維X向壓電掃描臺 200μm 中孔25mm×25mm  
  
  
  
  
  
  
  
  XP-780一維X向壓電掃描臺 200μm 中孔25mm×25mm
 XP-780系列壓電掃描臺采用機構放大設計原理,柔性鉸鏈連接支撐傳動,內部采用高可靠性壓電陶瓷驅動,實現X軸200μm的位移,可以配置閉環傳感實現高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm的通孔,適用于光學掃描。平臺可以通過疊加轉接的方式實現二維、三維運動。 產品特點  一維X向運動  行程可達200μm  承載可達5kg  通孔尺寸:25×25mm  閉環重復定位精度高  開/閉環可選  真空版本可選   |